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二象限探測器(bi-cell/dual-element/two-segment photodetectors)是由極小間隔的兩個(gè)具有公共襯底的PD所組成。當(dāng)線光斑同時(shí)照射到兩個(gè)象限能夠產(chǎn)生不同的光電流信號(hào),通過計(jì)算即可精確獲得光斑一維坐標(biāo)。應(yīng)用:機(jī)床測量、精密位移測量(position sensing)、表面輪廓測量等。

四象限探測器(quadrant photodetectors, QPD)是一種光敏面分為四個(gè)象限(quadrant),相鄰區(qū)域間隔極小且具有公共襯底的PD (photodiodes)或APD (avalanche photodiodes)。規(guī)則形狀的光斑同時(shí)照射到四個(gè)象限能夠使象限各自產(chǎn)生不同的光電流信號(hào),通過計(jì)算即可精確獲得光斑二維坐標(biāo)。應(yīng)用:光斑對中、精密位移測量(position sensing)、振動(dòng)檢測、角度測量、制導(dǎo)等。

PSD

位置靈敏探測器(position sensitive detectors, PSD)利用橫向效應(yīng)測量光斑重心與探測器邊緣之間的光電流信號(hào)來得到光斑一維或二維的坐標(biāo)信息。相較于象限探測器(bi-cell/dual-element/two-segment or quadrant photodetectors)有更高的動(dòng)態(tài)范圍、量程和線性度,可有效屏蔽光斑形狀不規(guī)則對測量精度的影響。應(yīng)用:光斑校準(zhǔn)、位移測量(position sensing)、運(yùn)動(dòng)分析、三角測距等。

象限探測器模塊[bi-cell/dual-element/two-segment or quadrant photodetector (QPD) modules]是基于象限探測器并且內(nèi)部集成了跨阻抗放大電路(trans-impedance amplifiers, TIA),使得其象限串?dāng)_低、可靠性高,更易于系統(tǒng)集成。應(yīng)用:光束歸零和定位,目標(biāo)位置采集及對準(zhǔn)(position sensing)

位置靈敏探測器模塊[position sensitive detectors (PSD) modules]是一種基于非均勻半導(dǎo)體橫向光電效應(yīng)的光電器件,模塊包含高精度二維位置靈敏探測器(two dimensional PSD)和低噪聲放大器,可以執(zhí)行精確的距離測量和位置測量(position sensing)。應(yīng)用:激光雷達(dá)系統(tǒng)、自動(dòng)化生產(chǎn)線、機(jī)器人操作以及光學(xué)系統(tǒng)對準(zhǔn)等。

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